扩散的定义

扩散泵

扩散泵扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。工具介绍自 1913 年 Gaede 发明扩散泵至今已有 101 年，在此期间技术...